关于真空镀膜机的结构特点介绍
真空镀膜机是一种利用真空技术在各种材料表面镀上薄膜的设备。其结构设计特定,主要由真空室、蒸发源、基片架和真空泵等组成。
真空室是
真空镀膜机的核心部分,通常采用不锈钢等金属材料制成,具有良好的密封性和耐腐蚀性。室内设有蒸发源和基片架,分别用于放置镀料和待镀物品。
蒸发源是真空镀膜机的关键部件,负责将镀料加热蒸发。根据不同的镀料特性,蒸发源可以采用电阻加热、电子束加热等方式。基片架则用于固定和放置待镀物品,其位置和角度可以调整,以确保薄膜的均匀沉积。
真空泵是真空镀膜机的重要组成部分,负责将真空室内的气体抽出,形成高真空状态。根据不同的工艺需求,可以选择不同类型和规格的真空泵。
综上所述,真空镀膜机的结构设计特定,各部件功能明确,协同工作,共同完成真空镀膜的过程。