在真空镀膜机的自动控制系统中，控制系统的性能指标的表征是其控制的准确性、可靠性以及实现的速度。而对于真空压力的自动控制调节系统，则有许多指标要求。
　　1、自动控制系统的稳定性
　　在自动控制系统给定值发生变化或受到扰动的情况下，被控制量将会发生变化，与原值偏离，且因为受反馈环节的影响，利用设备内的控制系统的自动调节功能，装置可能会调节回到原来的稳定值附近或跟随给定值慢慢变得稳定。但也可能因为系统内相互之间的影响，导致系统的状态不稳定。所以，对于自动控制系统，我们要求的是符合系统的稳定性。
　　2、自动控制系统的“动态特性”
　　真空镀膜机自动控制系统的动态性能指标是一系列的系统过渡性能参数。一般需在某一时刻，在系统定下个阶跃单位的给定值，之后再按照系统的过渡过程的曲线上的对应参数，来表达控制系统的“动态特性”，使这类控制系统其动态特性在不同条件下具有可比性。
　　（1）振荡频次：被控制量在给定时间内的振荡次数，振荡频次的值越小，则意味着控制系统的动态性能越良好。
　　（2）调节时间：它作为系统控制的速度指标。调节时间也叫恢复时间，指的是控制系统接收到阶跃单位给定值的信号之时，自设备的过渡状态向允许的偏差恢复之间的的所需时间。
　　（3）稳态偏差：它作为系统控制的精度指标。指的是受阶跃单位给定值影响之后，装置过渡到稳态状态的余差。
　　（4）大偏差：它作为被控制量与给定值的大偏离差值。指的是过渡过程的曲线大峰值与给定值之间的差。
　　（5）衰减比：它作为衡量控制系统的稳定性指标。指的是两个相邻的波在同方向的幅值比，一般为4:1~10:1之间的比值。