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真空镀膜设备

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光学镀膜机

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常规配置
► 真空泵系统
低真空泵：旋片式机械泵（蒸压机械泵：930m3 h-1）
高真空泵：扩散泵（选择：低温泵或滑轮分子泵）

► 真空阀系统
型号：3/8”，2”，4”，22“

► 真空室加热系统
高温度：0到400℃
型号：滷素灯（选择：微型加热器）
基片型号：球面型或行星型
转速：0到30转速/分
软起，软停，可调速泸

► 电子控制系统
型号：计算机控制面板
可修改和改变任何需要的控制
全程控制镀膜以达到产品所需的要求
提供所需要的技术信息

► 真空计系统
高真空感应器：2
低真空感应器：1

选择配置
► 薄膜沉积控制系统
沉积控制：IC-5 （INFICON）
MDC360 （MAXTEK）等等
石英晶髓感应器:1，2，6头

► 光控离子源
无栅型：直流型
灯丝型：直流型，频射型

► 电子束源
容量：15cc，25cc，40cc等等
偏转角度：180度或270度
坩锅：4，6，8倜等等

► 深冷系统
除霜室
扩散泵

► 水冷却系统
水或气冷却器