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真空镀膜设备
科技创新为动力 专业服务为目标设备型号 | VLT-800型 | VLT-1000型 | VLT-1200型 |
镀膜室尺寸 | 800×1250 | 1000×1200 | 1200×1500 |
极限真空度 | ≤4×10-4pa | ||
抽气时间 | 从大气抽至6.6×10-2Pa<10min | ||
电弧源 | 6个(2KW/个) | 8个(2KW/个) | 6个(2KW/个) |
直流负偏压 |
0-1000V 10A 0-500 20A |
0-1000V 12A 0-500 25A |
0-1000V 20A 0-500 30A |
工件尺寸 | 6轴(220×800) | 6轴(250×1000) | 6轴(280×1300) |
加热功率 | 15KW | 20KW | 25KW |
总功率/平均功率 | 40KW/25KW | 50KW/30KW | 58KW/35KW |
磁控靶(平面或圆柱靶) | 10KW | 15KW | 20KW |
气体质量流量控制仪 | 三路 | 三路 | 三路 |