真空镀膜机中的真空管道、静态密封零部件（法兰、密封圈等）的结构形式，应符合相关规定。
　　在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管，分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时，应在测量口处安装电场屏蔽装置。
　　如果设备使用的主泵为扩散泵时，应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱。
　　设备的镀膜室应设有观察窗，应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。