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真空镀膜设备
科技创新为动力 专业服务为目标设备型号 | VLT-2000C型 | VLT-2000CF型 | VLT-2000CP型 |
尺寸 | 2000×2600×40 | 2000×2600×40 | 2000×2600×40 |
靶数量(个) | 4 | 4 | 4 |
溅射功率(KW) | 80×4 | 80×4 | 80×4 |
装机总功率(KW) | 400 | 400 | 400 |
真空室数量(个) | 7 | 7 | 7 |
镀膜室数量(个) | 2 | 2 | 2 |
真空抽气机组型式 | 真空泵+油扩散泵 | 真空泵+分子泵 | 真空泵+油扩散泵 |
生产节拍(分钟/片) | 3 | 3 | 4 |
真空室材质 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 |
控制方式 | PLC | PLC | PLC |
生产方式 | 水平式 | 水平式 | 水平式 |
辅助设备 |
水平式玻璃清洗设备 镜背涂装烘烤设备 |
水平式玻璃清洗设备 镜背涂装烘烤设备 |
水平式玻璃清洗设备 镜背涂装烘烤设备 |
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