1、卷绕系统
　　真空镀膜设备的卷绕系统主要由直流电机传动的放卷辊、收卷辊、镀膜鼓、导向辊、张力测量（控制）辊、展平辊以及电阻测试辊等部件组成，它的作用是按照速度和张力将基材薄膜输送到镀膜区进行镀制后，再将已镀膜的基材薄膜收卷成筒状卷膜。通过控制薄膜卷绕的速度、张力以及展平辊的角度等工艺参数，可以避免产生皱纹而得到收卷整齐的膜卷。
　　2、速度控制和张力控制
　　速度控制：带状基体的线速度恒定是保持膜厚均匀的重要条件。卷绕系统带材的速度控制多数采用以电流控制为主的速度恒定控制，速度都可以根据产品的要求，事先设定、自动调节。
　　张力控制：薄膜张力控制在卷绕真空镀膜设备中是一个关键问题。张力控制同膜的跑偏、暴筋、起皱等现象均有关系。
　　3、蒸发系统由蒸发源夹座（电极）、蒸发源、送丝机构等组成。
　　4、PVD镀膜设备真空室开启机构：大型双室半连续蒸发镀膜机的开启机构一般由真空室体，卷绕机构，密封大板，动力柜，行程开关和小车组成。根据镀膜基本材料的幅宽，确定单门还是双门开启。常见的真空室多是单门开启，蒸发器仍在镀膜室内。
　　5、屏蔽组件：就是要在膜上屏蔽出未镀膜的条纹或网纹，这是电容器膜的要求，普通电容器的屏蔽第纹是沿着基膜的纵向延伸的，安全电容器膜的屏蔽条纹是网纹。
　　6、真空镀膜机系统：一般卷绕真空镀膜设备的卷绕室和镀膜室各有一套真空泵组。通常，国内外的设备所采用的真空抽气系统的蒸镀室主泵为测报扩散泵，卷绕室主泵为大抽速的油扩散喷射泵。