真空镀膜设备的一个重要组成部分是采用扩散泵抽真空，大部分都是大型设备，所以相对来说成本会比较高，因此，大多数企业都会注意扩散泵的维护和保养。下面小编为大家详细介绍一下扩散泵的保养和保养方法：
　　1、扩散泵的冷却水在工作过程中要平稳，停止加热后，待泵工作液完全冷却后再关闭冷却水。
　　2、扩散泵停止工作时，应保持泵处于真空状态，以免泵油变质。
　　3、被泵送的气体应是干燥、无腐蚀性、无粉尘的气体。
　　4、如果真空镀膜设备的扩散泵暂时不使用，储存时应保持真空状态，以免泵油污染和腐蚀各部件，并将冷却水套的剩余水吹干净。将室温保持在10至40摄氏度之间。
　　5、扩散泵性能在长期工作后会逐渐恶化，应定期检查。如：泵油是否被还原或氧化，按相应要求进行加油或替换处理；零件及泵腔先用汽油清洗，然后用丙酮擦洗，在80-100摄氏度下烘干或用吹风机吹干。加工后，依次组装，保持泵芯与泵底垂直，泵腔同心，各级喷嘴间隙应按原要求调整。
　　6、待水挥发干燥后，安装泵芯，添加新的扩散泵油，并安装回机体，连接水管，安装炉板，就可以重新启动。
　　7、在重新开启真空镀膜设备之前，要注意检漏。方法：启动维修泵，关好门，几分钟后，观察真空度，并检查连接处密封胶圈是否泄漏，或密封圈是否断裂。隐藏的漏气可以在减少前加热，否则扩散泵油烧坏不能进入工作状态。