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了解下真空镀膜设备的扩散泵该如何维修和保养

  真空镀膜设备的一个重要组成部分是采用扩散泵抽真空,大部分都是大型设备,所以相对来说成本会比较高,因此,大多数企业都会注意扩散泵的维护和保养。下面小编为大家详细介绍一下扩散泵的保养和保养方法:
  1、扩散泵的冷却水在工作过程中要平稳,停止加热后,待泵工作液完全冷却后再关闭冷却水。
  2、扩散泵停止工作时,应保持泵处于真空状态,以免泵油变质。
  3、被泵送的气体应是干燥、无腐蚀性、无粉尘的气体。
  4、如果真空镀膜设备的扩散泵暂时不使用,储存时应保持真空状态,以免泵油污染和腐蚀各部件,并将冷却水套的剩余水吹干净。将室温保持在10至40摄氏度之间。
  5、扩散泵性能在长期工作后会逐渐恶化,应定期检查。如:泵油是否被还原或氧化,按相应要求进行加油或替换处理;零件及泵腔先用汽油清洗,然后用丙酮擦洗,在80-100摄氏度下烘干或用吹风机吹干。加工后,依次组装,保持泵芯与泵底垂直,泵腔同心,各级喷嘴间隙应按原要求调整。
  6、待水挥发干燥后,安装泵芯,添加新的扩散泵油,并安装回机体,连接水管,安装炉板,就可以重新启动。
  7、在重新开启真空镀膜设备之前,要注意检漏。方法:启动维修泵,关好门,几分钟后,观察真空度,并检查连接处密封胶圈是否泄漏,或密封圈是否断裂。隐藏的漏气可以在减少前加热,否则扩散泵油烧坏不能进入工作状态。
2022/06/09 10:14:39 80 次