浅谈真空镀膜机操作程序
a. 发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。
b. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
⑫ 旋转发射调节钮“4”,使高压真空表“5”内指针指向5。
⑬ 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。
⑭ 旋转零点调节钮“10”,让高压真空表“5”内指针指向0位置。
⑮ 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。
⑯ 旋转标准调节钮“3”,让高压真空表“5”内指针指向10。
⑰ 旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12,当高压真空表“5”内指针逆时针左移过了1小时,再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。
⑱ 当高压真空表“5”内指针逆时针移动过了6.7Pa时,开工件旋转钮开关,钟罩内被镀件PVDF膜转动。
⑲ 开蒸发钮开关。把电流分插塞放入蒸发电极分配孔内(设有1、 2、 3、 4孔,可放入任意一孔)。
⑳ 右手旋转右侧调压器手轮,慢慢旋转升压。
a. 从视镜窗口观察钨螺旋加热子的加热温度颜色变化情况。
b. 当钨螺旋加热子颜色变成黄橙色,铝丝开始熔化时,左手操作挡板钮,移开钨螺旋上方挡板。
c. 铝丝全部熔化蒸发,挡板回原位。
d. 右手旋转调压器手轮回零位。初次蒸镀工作完成。
21. 如果再想蒸镀一次(为了增加电极金属层厚度):把电流分插塞拨出放入另一个电极分配孔。重复⑳操作动作。
22. 关闭规管灯丝开关。关闭高压阀(逆时针转手柄)。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。
23. 低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间,当没有气.声时,升钟罩。
24. 钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下 (原下面已镀一层铝膜面向上)。紧固在转动圆盘上。
25. 落钟罩。开机械泵。
a. 左下旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。
b. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时,低压阀推入。
c. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
d. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时,开高压阀。旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。
e. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到指向0.1Pa时,开规管灯丝。
f. 由⑰开始重复操作至⑳ 。
26. PVDF薄膜蒸镀完铝层后,按顺序关闭规管灯丝、高压阀、机械泵、扩散泵。把低压阀拉出。钟罩充气,充气完毕后升钟罩。取出工件,做好钟罩内清理工作。
a. 落下钟罩。
b. 开机械泵,抽3~5min,停机械泵。
c. 切断供电总开关。
d. 1h后再关闭冷却水,操作都完成。
27. 正常生产中,如遇到突然停电时,要及时切断高真空测量,关闭规管灯丝,高压阀、低压阀拉出。来电后,先让机械泵启动工作3~5min后,再转入正常生产。