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真空镀膜设备厂家告诉您如何给设备进行保养

        1、真空镀膜设备厂家提醒您当设备完成200个镀膜程序以上,就应去清洁。方法是:用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。
        2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需替换好新油。方法是:拧开螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。真空镀膜设备厂家建议您如果设备连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。
        3、扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否有6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。
2022/06/28 13:53:27 175 次