要提高真空镀膜机的高精度控制性能，可以考虑以下几个方面：

       1、控制系统优化：保障真空镀膜机配备良好的控制系统，包括温度、压力、流量和时间等参数的准确监测和控制。优化控制系统的硬件和软件，提高控制的准确性和稳定性。

       2、传感器选择和校准：选择高质量的传感器用于监测关键参数，如温度、压力和流量。保障传感器的准确性，并进行定期校准和检查，以保障测量结果的准确性。

       3、自动化和智能化：引入自动化和智能化技术，如PLC（可编程逻辑控制器）和SCADA（监控与数据采集系统），以实现自动化的控制和监测。通过预设程序和算法，优化控制过程，并实现越高的精度和稳定性。

       4、参数优化和反馈控制：通过系统建模和优化算法，确定良佳的操作参数组合。利用反馈控制机制，实时监测和调整关键参数，以保持镀膜过程的稳定性和一致性。

       5、数据分析和优化：收集和分析镀膜过程中的数据，通过统计分析和数据挖掘技术，识别和优化关键参数对控制性能的影响。借助数据分析，可以进一步优化控制策略，提高高精度控制的效果。

       6、培训和技术支持：为操作人员提供培训和技术支持，使其熟练掌握真空镀膜机的操作和控制技术。培训可以包括操作流程、故障排除和参数调整等方面，以保障高精度控制性能的实现。