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真空镀膜设备

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磁控溅射镀膜设备


  在现有的真空镀膜机中,安装在镀膜腔体中的加热装置多种多样,现有的用于真空镀膜的加热装置大多有加热效率不高,不能减轻操作负担、以及提高作业效率,受热不均等问题。
  提供一种真空镀膜系统,本系统由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。